ロングパルス、高パルスエネルギー、短波長発振により、シリコンなどの難加工材の加熱に適しています。
長寿命20Wのレーザダイオードをベースにした多方向均一励起と、流体力学に基づく冷却水路の設計によりYAGロッドの温度分布を均一にすることにより、熱レンズ効果が少なく、ポインティングスタビリティーが安定的です。加工ステージとの最適同期で難加工材の均一なレーザ加熱を可能にします。
専用のホモジナイザーでビームの強度均一性をフラットトップ化することが可能です。
型式 |
PA-050-QMG |
PA-200-QMG |
発振出力 | 50W | 200W |
発振波長 | 532nm | 532nm |
繰り返し速度(代表値) | 10kHz | 10kHz |
繰り返し速度範囲 | 4kHz~15kHz | 10~15kHz |
パルス幅(FWHM) | <250ns | <150~250ns |
ビーム径(出射窓にて) | <0.9mm | <4mm |
ビーム拡がり角 | 5mrad | 8mrad |
ビーム品質 (M²) | <12 | <25 |
横モード | マルチ | マルチ |
パルス-パルス安定性 | 1.5%rms | <2% |
出力安定性(8時間) | 2%rms | 2%rms |
変更方向 | 水平方向 | 水平方向 |
動作温度(結露なき事) | 18℃~30℃ | 18℃~30℃ |
冷却水温度 | 20℃ | 20℃ |
YAGロッドの温度分布の均一化は、パルスtoパルスの安定性を向上させ、また、ピークパワーを一定にして、材料の均一な加熱を可能にします。