マルチヘッドレーザ
1台から複数のビームを発振
ウェハーの加熱温度分布の制御
体積の均一加熱
ヘッド数~７本、最大出力~4.8ｋＷ
1台の発振器から複数のビームが発振するダイレクトレーザです。１ヘッドあたり最大６００Ｗ、ヘッド数は最大７台まで設置可能、総出力は最大４８００Ｗまで発振可能です。それぞれのヘッドのビーム形状や照射位置を工夫することで、ウェハーの加熱温度分布を自由に制御できます。また、材料を複数のビームであらゆる角度から加熱できますので、立方体、円柱形状等の体積材料を均一に加熱することができます。
さらに、発振器が1台で済むので、電源や冷却系をシンプルに装置構成することができます。
仕様
| １ヘッドあたり出力 | ～600Ｗ |
| 最大ヘッド数 | 7本まで |
| 総出力 | 最大4800Ｗ |
| 波長 | 808nm, 915nm, 940nm, 980nm |
| ビーム形状 |
円形、正方形、長方形 カスタマイズ可能 |
| ビーム強度分布 |
フラットトップ、ガウシャン カスタマイズ可能 |
| ビームサイズ |
Φ600μm~Φ300mm カスタマイズ可能 |
照射ヘッドごとの出力立ち上がりのバラつき
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