半導体キャリア測定解析

　レーザによって光誘起された半導体基板および薄膜にマイクロ波を照射し、その透過率からキャリアライフタイムやシート抵抗値を解析します。非破壊で測定でき、測定結果は2次元マップでアウトプットされるので、太陽電池用基板等の評価に最適です。