レーザアニール用加工ステージ

レーザアニールに適したXYZ駆動

操作しやすい制御ソフト

 広範囲を高速で均一に加熱することが要求されるレーザアニールでは、独特のXYZ駆動によってはじめて、レーザ性能を最大限に引き出すことができ、高品質の結晶化や活性化が可能になります。

 アウレアワークス㈱ではアニールに特化した加工ステージをご提供いたします。

 ウィンドウズ上の簡単な入力のみで希望のアニール加工ができます。

操作しやすいソフトウェア

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