レーザアニール用加工ステージ

レーザアニールに適したXYZ駆動

操作しやすい制御ソフト

レーザアニール加工ステージ

 広範囲を高速で均一に加熱することが要求されるレーザアニールでは、独特のXYZ駆動によってはじめて、レーザ性能を最大限に引き出すことができ、高品質の結晶化と活性化が可能になります。

 アウレアワークス㈱ではアニールに特化したご実験向けのリーズナブルな価格のアニール加工ステージをご提供いたします。

パルスYAGレーザ355nm, 1.2J/cm2でZAP-IT®にレーザアニール加工
パルスYAGレーザ355nm, 1.2J/cm2で感熱紙( ZAP-IT®)へのテストパターン

52mm x 30mm (1560mm2)を35秒で処理

1064nm, 4J/cm2でZAP-IT®にレーザアニール加工
パルスYAGレーザ1064nm, 4J/cm2で感熱紙(ZAP-IT®)へのテストパターン

60mm x 30mm (1800mm2)を32秒で処理

レーザアニール加工ステージのワークステーション
ワークステーション
コントロール画面
コントロール画面

より詳細な資料をご希望の方は弊社営業部までお問い合わせください。