レーザアニール用加工ステージ

　広範囲を高速で均一に加熱することが要求されるレーザアニールでは、独特のXYZ駆動によってはじめて、レーザ性能を最大限に引き出すことができ、高品質の結晶化と活性化が可能になります。

　アウレアワークス㈱ではアニールに特化したご実験向けのリーズナブルな価格のアニール加工ステージをご提供いたします。