周辺機器

半導体レーザの性能を１００％引き出すための、加工ステージ、機構部品、冷却部品、ビーム評価系なども製作いたします。

レーザアニール用加工ステージ

ホモジナイズビームやラインビームを使って均一加熱したい時に適したＸＹＺ加工ステージです

パルスコントローラー

 

300A（パルス Duty7%）, 100A（パルス Duty21%）

パルス電源コントローラー

直流安定化電源内蔵

300A（パルス Duty7%）, 100A（パルス Duty21%）

 放射温度計

 レーザ加熱温度を非接触で高速、正確に測定ができます

 光源の波長の影響を受けません

水冷ホルダー

高出力レーザの運用時にレンズやミラー温度を安定さることができるホルダーです