周辺機器

レーザアニール用加工ステージ

ホモジナイズビームやラインビームを使って均一加熱したい時に適したＸＹＺ加工ステージです

パルスコントローラー

300A（パルス Duty7%）, 100A（パルス Duty21%）

パルス電源コントローラー

直流安定化電源内蔵

300A（パルス Duty7%）, 100A（パルス Duty21%）

 放射温度計

 レーザ加熱温度を非接触で高速、正確に測定ができます

 光源の波長の影響を受けません

水冷ホルダー

高出力レーザの運用時にレンズやミラー温度を安定さることができるホルダーです