YAGレーザ用ホモジナイザー

高出力パルスレーザの均一照射

深い焦点深度<5mm

ビームサイズおよび焦点距離の可変

YAGレーザのホモジナイズ化

  >1J/pulseクラスの強いパルスエネルギーはファイバーレーザにはないYAGレーザならではの長所ですが、空間的にマルチモードが混在し強度分布が不均一かつ変動し、材料を広範囲に均一照射することが出来ないという欠点がありました。アウレアワークスのYAG用ホモジナイザーを使用すれば、不均一な強度分布を均一にし、強いパルスエネルギーでシリコン等の高反射材料を高いスループットでアニールすることが可能です。 

 

 アウレアワークスでは、ホモジナイザーで均一化した光強度分布をビーム掃引手段によって材料の加熱温度を最適化し、高品質のアニールを実現させます。

  

 

 

特徴

  • >1J/pulse級高出力パルスYAGレーザに対応
  • 266nm, 355nm, 532nm, 1064nmに対応可能
  • 低い光学損失(15%以下)
  • 長方形や六角形にも整形可
  • 長焦点距離 100mm~350mm
  • 深い焦点震度<5mm
  • ビームサイズ、焦点距離の可変が可能(オプション)
YAGレーザのフラットトップ化
シミュレーションデータ

仕様

光源

高出力パルスYAGレーザ

均一性

±5%~±10%

光損失

15%

ビームサイズ

2.5mm x 2.5mm~20mm x 20mm

焦点距離 100mm~350mm
焦点深度

<5.0mm

対応波長

266nm

355nm

532nm

1064nm

ビーム形状

円形、正方形、長方形、六角形

 

アウレアワークス㈱では、アニール加工に必要なレーザ及び加工ステージ及び制御ソフトもサポートしております。

 

より詳細な資料およびお見積もりをご希望の方は弊社営業部までお問い合わせください。