ハイブリッドホモジナイザー

波長の違う2つのレーザを同軸・同焦点に同サイズでホモジナイズ

ハイブリッドホモジナイザー

 

 波長の違う2種類のレーザをそれぞれホモジナイズしながら、同軸上かつ同焦点に同サイズで結像する光学系です。

 

 2種類のレーザ波長を利用したハイブリットシステムにおいて、2種類のレーザをそれぞれホモジナイザーで強度を均一化しながら同軸上にカップリングし、最終段の対物レンズを共用させることで、同軸同焦点にビームを結像する光学系です。

 

 本ハイブリッドホモジナイザーによって、1μmレーザに対して反射率の高いシリコンやアルミ等の材料においても、0.8µmのダイレクトレーザや532nmのグリーンレーザや445nmのブルーレーザを補助加熱として利用することで基本波の熱影響を抑えて溶け込み深さを改善することが可能になります。また、均一に照射するのでタクトタイムを大幅に短縮させることができます。

 

 

特徴

  1. 波長の違う2種類のレーザをそれぞれホモジナイズ(フラットトップ化)
  2. 波長の違う2種類のレーザを同軸上にカップリング
  3. 波長の違う2種類のレーザを同焦点で結像
  4. 波長の違う2種類のレーザを同サイズに集光
  5. 1μmの短波長では不可能であった熱影響を低く抑えた高いアスペクト比の熱加工が可能

仕様

光源組み合わせ
  • YAGレーザー&ダイレクトレーザ
  • ファイバーレーザ&ダイレクトレーザ
  • ファイバーレーザ&グリーンレーザ
   組み合わせ応相談
 均一性

<±5%

ビームサイズ 0.1mm x 0.4mm ~ 10mm x 40mm
焦点距離 100mm ~ 200mm
焦点深度 <0.6mm
基本波出力 <80W
ビーム形状 円形、正方形、長方形

ダイレクトダイオードレーザのプロファイルデータ

0.1mm x 0.2mm 矩形ビーム

100W@808nm, ビームサイズ0.1mm x 0.2mm

ファイバーレーザやYAGレーザと同軸同焦点でカップリングしやすいように、ダイオードレーザを長焦点かつ深い焦点深度で集光させます

より詳細な資料およびお見積もりをご希望の方は弊社営業部までお問い合わせください。