レーザ非破壊加熱サービス

広義の意で「アニール」とは加工中に発生した応力を緩和するプロセスのことを言い、一般的に鉄加工品の焼鈍、焼き入れなどが有名です。

 

半導体製造では、アモルファスシリコン内の原子間結合の空間的乱れを、ガラス基板にダメージを与えない条件下で加熱、溶融、冷却、固化、結晶化をし、異なる方位を有する結晶のシリコン粒が充填された状態の多結晶(ポリシリコン)膜に変化させるプロセスのことをアニールと言い、アウレアワークス㈱の得意とする「アニール」です。

 

ものづくりの開発現場には、上述の多結晶(ポリシリコン)化だけではなく、「アニール」及び「非破壊加熱」を必要としているプロセスが多く存在します。

 

アウレアワークス㈱は、そのような問題を多結晶(ポリシリコン)化で培った高精度レーザアニール技術を用いてお客様の新製品開発のサポートをいたします