レーザビーム整形による加熱技術の高度化
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レーザ加熱サービス


  アウレアワークス株式会社は、精密なアニーリングプロセスの専門家として、物づくりの開発現場のあらゆる難題にチャレンジします。

 

アニーリングは、材料への内部ストレスの緩和を図る重要な手法であり、一般的には鉄製品の焼鈍や焼入れといったプロセスに用いられます。 特に半導体製造における私たちのエキスパートは、ガラス基板へのダメージを最小限に抑えつつ、アモルファスシリコンの内部結合の乱れを修正。加熱、溶融、冷却、固化、そして結晶化のプロセスを通じて、多方位の結晶シリコン粒を含んだ多結晶(ポリシリコン)膜に転換します。

 

この独自のアニーリング技術は、薄膜シリコンの多結晶化だけでなく、あらゆる材料のアニーリングや加熱プロセスに必要な場面に対応可能です。アウレアワークス株式会社は、高精度レーザーアニーリング技術を駆使し、お客様の新製品開発を力強くサポートします。

 


不純物活性化レーザアニール

低温ポリシリコンレーザアニール(レーザ結晶化)

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アウレアワークス株式会社

TEL 045-717-7065

FAX 045-717-7066


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