ロングパルスグリーンレーザ

ロングパルスで高いパルスエネルギー

シリコン等の難加工材の局所・瞬間加熱に最適

フラットトップビーム(オプション)

ロングパルスグリーンレーザ
  • 光平均出力 :50W@10kHz~200W@10kHz
  • 発振波長 :532nm
  • パルスエネルギー :5mJ~20mJ
  • パルス幅 :250ns@10kHz~
  • 周波数:4~15kHz
  • ビーム品質:M2=12, 25
  • パルスtoパルス安定性:1.5%rms
  • 励起ダイオードは50%出力で発振の冗長設計で長寿命
  • 実績と高信頼のNorthrop Grumann Cutting Edge Optronics (以下、NGCEO社)製

 

特徴

ロングパルス、高パルスエネルギー、短波長発振により、シリコンなどの難加工材の加熱に適しています。

 

長寿命20Wのレーザダイオードをベースにした多方向均一励起と、流体力学に基づく冷却水路の設計によりYAGロッドの温度分布を均一にすることにより、熱レンズ効果が少なく、ポインティングスタビリティーが安定的です。加工ステージとの最適同期で難加工材の均一なレーザ加熱を可能にします。

 

専用のホモジナイザーでビームの強度均一性をフラットトップ化することが可能です。

YAGロッド冷却水の流量分布図

YAGロッドの冷却水流量が均一になるように水路を設計してあります
YAGロッドの冷却水流量が均一になるように水路を設計してあります

仕様

型式      

PA-050-QMG

PA-200-QMG

発振出力 50W 200W
発振波長 532nm 532nm
繰り返し速度(代表値) 10kHz 10kHz
繰り返し速度範囲 4kHz~15kHz 10~15kHz
パルス幅(FWHM) <250ns <150~250ns
ビーム径(出射窓にて) <0.9mm <4mm
ビーム拡がり角 5mrad 8mrad
ビーム品質 (M²) <12 <25
横モード マルチ マルチ
パルス-パルス安定性 1.5%rms <2%
出力安定性(8時間) 2%rms 2%rms
変更方向 水平方向 水平方向
動作温度(結露なき事) 18℃~30℃ 18℃~30℃
冷却水温度 20℃ 20℃
 

平均出力及びパルス幅 vs パルス周波数

200W 平均出力及びパルス幅vs繰り返し周波数
200W 平均出力及びパルス幅vs繰り返し周波数

ビーム真円性

16W 出射ビームのX軸サイズとY軸サイズ
16W 出射ビームのX軸サイズとY軸サイズ
200W X軸とY軸のビームサイズ
200W X軸とY軸のビームサイズ
16W 出射ビームのポインティングスタビリティー測定値
16W 出射ビームのポインティングスタビリティー測定値

パルス波形

パルス波形データ
パルス波形データ

YAGロッドの温度分布の均一化は、パルスtoパルスの安定性を向上させ、また、ピークパワーを一定にして、材料の均一な加熱を可能にします。

16W 出力安定性データ
16W 出力安定性データ

ビームプロファイルデータ

16W ビームプロファイルデータ
16W ビームプロファイルデータ
200W ビームプロファイルデータ (左:出射窓、右:ファーフィールド)
200W ビームプロファイルデータ (左:出射窓、右:ファーフィールド)

 

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