レーザビーム整形による加熱技術の高度化
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キロワット級ラインビームレーザ

薄ディスク型Yb:YAG結晶の励起

高出力MOPA型レーザの高出力・高光密度励起

薄膜シリコンの高スループットアニール

ラインビームレーザ

 高出力半導体レーザを独自光学設計により、お客様のご用途に合わせてビーム形状やホモジニイティーをカスタマイズすることが可能です。

 薄ディスク形状のレーザ結晶媒体への高効率カップリングできるように、縦軸は低NAで集光し、横軸は均一励起するようにホモジナズされています。

 また、レーザアニール用のキロワットクラスの大出力で任意形状のラインビームもカスタマイズします。メンテナンスは、国内で行うので短納期で安価にサポートすることが可能です。


特徴

  • 波長796nm, 808nm, 880nm, 915nm, 940nm, 980nmで最大12kWまで発振出力が可能
  • ファースト軸はガウシャンビームで結晶への高効率カップリングが可能
  • NA0.2以下で集光
  • 波長ロッカー(VBG)による狭線幅化(<0.1nm)オプションあり
  • ビーム形状のカスタマイズが可能⇒ライン、正方形、長方形、円形、楕円形
  • ビームホモジナイズオプションあり

ビームプロファイルデータ(実測)

出力2kW@ビームサイズ10mm x 0.23mm
出力2kW@ビームサイズ10mm x 0.23mm
ファースト軸方向のプロファイル       出力2kW
ファースト軸方向のプロファイル       出力2kW

ファースト軸方向のサイドローブ成分が低いので、結晶への入射効率が高く、レーザ発振器全体の光-光変換効率の向上が見込めます。


ホモジナイズオプション

レーザ活性媒体内の励起光の均一化や、広面積をムラのないアニールが可能になります

 

横軸ホモジナイズ・縦軸ガウシャンモード

(左)ラインビームイメージ  (中央)横軸プロファイル   (右)縦軸プロファイル

 


電流出力特性


波長狭帯化オプション

波長狭帯幅化前スペクトル
波長狭帯幅化前スペクトル
波長狭帯幅化後スペクトル
波長狭帯幅化後スペクトル

VBG(VHG)で半導体レーザを外部共振構造をとることで、広い発振スペクトル(左)を、狭帯化(右)することが可能です。その際の光出力は低下しません(下グラフ)。


詳細な技術資料は弊社営業部までお問い合わせください。

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アウレアワークス株式会社

TEL 045-717-7065

FAX 045-717-7066


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