マルチヘッドレーザ

1台から複数のビームを発振

ウェハーの加熱温度分布の制御

体積の均一加熱

ヘッド数~７本、最大出力~4.8ｋＷ

1台の発振器から複数のビームが発振するダイレクトレーザです。１ヘッドあたり最大６００Ｗ、ヘッド数は最大７台まで設置可能、総出力は最大４８００Ｗまで発振可能です。それぞれのヘッドのビーム形状や照射位置を工夫することで、ウェハーの加熱温度分布を自由に制御できます。また、材料を複数のビームであらゆる角度から加熱できますので、立方体、円柱形状等の体積材料を均一に加熱することができます。

　さらに、発振器が1台で済むので、電源や冷却系をシンプルに装置構成することができます。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　仕様

１ヘッドあたり出力	～600Ｗ
最大ヘッド数	7本まで
総出力	最大4800Ｗ
波長	808nm, 915nm, 940nm, 980nm
ビーム形状	円形、正方形、長方形カスタマイズ可能
ビーム強度分布	フラットトップ、ガウシャンカスタマイズ可能
ビームサイズ	Φ600μm~Φ300mm カスタマイズ可能

より詳細な資料をご希望の方は、弊社営業部までお問い合わせください。